產(chǎn)品[
便攜式半導(dǎo)體特氣檢漏儀
]資料
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產(chǎn)品名稱:
便攜式半導(dǎo)體特氣檢漏儀
產(chǎn)品型號:
XP-703DIII
產(chǎn)品展商:
日本新宇宙
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
XP-703D 便攜式半導(dǎo)體特氣檢漏儀,適合于檢測半導(dǎo)體特氣（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）的微量泄漏；采用聲光報警。
便攜式半導(dǎo)體特氣檢漏儀
的詳細介紹
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XP-703D 便攜式半導(dǎo)體特氣檢漏儀規(guī) 格
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型 號
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XP-703D
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檢測對象氣體
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半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
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檢測原理
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專線型半導(dǎo)體式
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采樣方式
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自動吸引式
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可檢測濃度
（單位：ppm）
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砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
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檢測表示
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蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
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應(yīng)答速度
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10秒以內(nèi)
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檢測對象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
檢測濃度
1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
檢測原理
專線型半導(dǎo)體式
采樣方式
自動吸引式
應(yīng)用行業(yè)
半導(dǎo)體制造
產(chǎn)品描述：半導(dǎo)體材料氣體檢測
01.產(chǎn)品特點
● 小型·輕量
● 可以檢查非常微量的氣體泄漏
● *適合氫氣相關(guān)設(shè)備的保安
● 搭載的泵有自動停止功能
● 搭載[自動氣體排氣模式]功能
● 保護等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時
02.產(chǎn)品用途
● 半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
● 在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進行泄漏檢測
03.產(chǎn)品參數(shù)
※1.根據(jù)不同環(huán)境條件、使用條件、保存期限、電池廠家，有時會有不同。
※2.安裝皮套時。
※3.所謂相當(dāng)于IP22是指：對于手指接近設(shè)備內(nèi)部的危險位置的保護結(jié)構(gòu)（IP2X）、以及外部對垂直15度以內(nèi)傾斜時，在4個位置各2.5分（合計10分）垂直落下的水滴不會給機器內(nèi)部造成有害影響的結(jié)構(gòu)。
